Mechanical and optical nanodevices in single-crystal quartz
Mechanical and optical nanodevices in single-crystal quartz
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单晶石英机械和光学纳米器件
DOI：
10.1063/1.5008759
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Marko Lonvcar
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Young;Rachel Miller;V. Venkataraman;Marko Lonvcar
单晶石英是应用最广泛的压电材料之一，在定时方面有着广泛的应用。由于基于集成薄膜的石英平台不可用的事实，这些应用中的大多数依赖于宏观的、基于体晶体的器件。在这里，我们表明，法拉第笼角蚀刻技术可以用来实现纳米机电和光子器件在石英。使用这种方法，我们展示了石英纳米机械杠杆和环形谐振器，具有Qs分别为4,900和8,900。
Single-crystal {\alpha}-quartz, one of the most widely used piezoelectric materials, has enabled a wide range of timing applications. Owing to the fact that integrated thin-film based quartz platform is not available, most of these applications rely on macroscopic, bulk crystal-based devices. Here we show that the Faraday cage angled-etching technique can be used to realize nanoscale electromechanical and photonic devices in quartz. Using this approach, we demonstrate quartz nanomechanical cantilevers and ring resonators featuring Qs of 4,900 and 8,900, respectively.