Evaluation of carbon stripper foils produced by a nitrogen ion beam sputtering method
Evaluation of carbon stripper foils produced by a nitrogen ion beam sputtering method
复制标题
氮离子束溅射法生产的碳剥离箔的评价
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K. Kawasaki and T. Hattori
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H. Muto;M. Oyaizu;K. Kawasaki and T. Hattori
