Simulation of Secondary Ion Position on the Detector for Three-dimensional Shave-off Method
Simulation of Secondary Ion Position on the Detector for Three-dimensional Shave-off Method
复制标题
三维剃须法探测器上二次离子位置的模拟
DOI：
10.1380/ejssnt.2020.116
复制
发表时间：
2020
影响因子：
0.7
通讯作者：
Masanori Owari
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
So-Hee Kang;Shinnosuke Kishi;Kohei Matsumura;Bunbunoshin Tomiyasu;Masanori Owari
