In-situ and Ex-situ Studies on the Formation of Orthorhombic Phase in HfO2-based Thin Films
In-situ and Ex-situ Studies on the Formation of Orthorhombic Phase in HfO2-based Thin Films
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HfO2 基薄膜中斜方相形成的原位和异位研究
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and T. J. Konno
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Shiraishi;T. Kiguchi;and T. J. Konno
