遊星スピンコート法による膜厚均一セラミックス薄膜の作製
遊星スピンコート法による膜厚均一セラミックス薄膜の作製
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行星旋涂法制备厚度均匀的陶瓷薄膜
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
尾形公一郎
中科院分区：
文献类型：
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作者：
德丸和樹 ; 尾形公一郎
