ラジカルモニタリング技術を応用したDERI法InGaN成長の検討
ラジカルモニタリング技術を応用したDERI法InGaN成長の検討
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应用自由基监测技术的DERI法InGaN生长研究
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T.Palacios
中科院分区：
文献类型：
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作者：
阪口順一;上松尚;油谷匡胤;齊藤巧;山口智広;荒木努;名西〓之;T.Fujishima;E.Matioli;T.Palacios
