F.SATO: "Solid-phase epitaxy with x-ray irradiation to grow dislocation free silicon films at low temperatures" Jpn.J.Appl.Phys.30. L205-L208 (1991)
F.SATO: "Solid-phase epitaxy with x-ray irradiation to grow dislocation free silicon films at low temperatures" Jpn.J.Appl.Phys.30. L205-L208 (1991)
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F.SATO:“利用 X 射线照射进行固相外延,以在低温下生长无位错硅薄膜”Jpn.J.Appl.Phys.30。
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