三次元集積化における異種材料間の熱膨張係数差がおよぼす影響
三次元集積化における異種材料間の熱膨張係数差がおよぼす影響
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不同材料热膨胀系数差异对三维集成的影响
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
田中 徹
中科院分区：
文献类型：
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作者：
木野 久志;池ヶ谷 俊介;小柳 光正;田中 徹
