酸化タングステン薄膜のエピタキシャル製膜とガス応答特性
酸化タングステン薄膜のエピタキシャル製膜とガス応答特性
复制标题
氧化钨薄膜的外延沉积及气体响应特性
DOI:
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发表时间:
2022
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
鈴木 拓
中科院分区:
文献类型:
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作者:
安達 裕;鈴木 拓