窒化炭素膜の摩擦による構造変化層の厚さと物性の摩擦時その場評価方法の提案
窒化炭素膜の摩擦による構造変化層の厚さと物性の摩擦時その場評価方法の提案
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氮化碳膜中摩擦引起的结构变化层的厚度和物理性能的原位评估方法的提案
DOI：
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发表时间：
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期刊：
影响因子：
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通讯作者：
野老山貴行
中科院分区：
文献类型：
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作者：
西村英典，梅原徳次;上坂裕之;野老山貴行
