Fabrication of Cu-Zr-Ti thick film metallic glass structure by double metal mask lift-off process

Fabrication of Cu-Zr-Ti thick film metallic glass structure by double metal mask lift-off process
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双金属掩模剥离工艺制备Cu-Zr-Ti厚膜金属玻璃结构

DOI:
10.1016/j.mee.2015.02.041
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发表时间:
2015
影响因子:
2.3
通讯作者:
S. Hata
S. Hata
中科院分区:
工程技术3区
文献类型:
--
作者:
Shigetaka Watanabe;J. Sakurai;S. Hata

文献摘要

参考文献

被引文献

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期刊: Jpn. J. Appl. Phys 42
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作者:
Yoshisato YOKOYAMA;Takashi FUKUSHIGE;Seiichi HATA;Kazuya MASU;Akira SHIMOKOHBE
通讯作者: Akira SHIMOKOHBE