AlN/SiCN複合膜の機械的性質に及ぼす 熱処理と基板温度の影響
AlN/SiCN複合膜の機械的性質に及ぼす 熱処理と基板温度の影響
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热处理和基体温度对AlN/SiCN复合薄膜力学性能的影响
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
野瀬正照
中科院分区：
文献类型：
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作者：
長江和樹;李昇原;松田健二; 野瀬正照
