Cu(Ti)合金膜を用いたIGZO膜への低接触抵抗電極の作製
Cu(Ti)合金膜を用いたIGZO膜への低接触抵抗電極の作製
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Cu(Ti)合金膜IGZO薄膜上低接触电阻电极的制作
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
大井 暁彦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
伊藤 和博;小濱 和之;佐野 貴之;生田目 俊秀;大井 暁彦
