ALD法を用いたフォトニック構造の波長選択吸収特性向上
ALD法を用いたフォトニック構造の波長選択吸収特性向上
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利用 ALD 方法改善光子结构的波长选择性吸收特性
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
清水信，阿久津宏樹，湯上浩雄
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Asaka Kohiyama;Makoto Shimizu;Hiroo Yugami;清水信，阿久津宏樹，湯上浩雄
