H.Shoyama: "High Density ECW Plasma Production with Counter-Injection of Microwaves" Proc.2nd Int.Conf.on Reactive Plasmas and 11th Symposium on Plasma Processing. 347-350 (1994)
H.Shoyama: "High Density ECW Plasma Production with Counter-Injection of Microwaves" Proc.2nd Int.Conf.on Reactive Plasmas and 11th Symposium on Plasma Processing. 347-350 (1994)
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H.Shoyama：“微波反向注入的高密度 ECW 等离子体生产”Proc.2nd Int.Conf.on Reactive Plasmas 和第 11 届等离子体处理研讨会。
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