Saku Egawa,Toshiki Niino,Toshiro Higuchi: "Film Actuators:Planar,Electrostatic SurfaceーDrive Actuators" Proceedings for the fourth IEEE Micro Electro Mechanical Systems Workshop. 9-14 (1991)
Saku Egawa,Toshiki Niino,Toshiro Higuchi: "Film Actuators:Planar,Electrostatic SurfaceーDrive Actuators" Proceedings for the fourth IEEE Micro Electro Mechanical Systems Workshop. 9-14 (1991)
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Saku Ekawa、Toshiki Niino、Toshiro Higuchi：“薄膜致动器：平面、静电表面驱动致动器”第四届 IEEE 微机电系统研讨会论文集 (1991)。
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