Influence of Process Parameters on Aluminum Nitriding by Electron Beam Excited Plasma
Influence of Process Parameters on Aluminum Nitriding by Electron Beam Excited Plasma
复制标题
工艺参数对电子束激发等离子体渗氮铝的影响
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Y.Tsunekawa
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M.Yoshida;M.Okumiya;R.Ichiki;T.Hara;Y.Tsunekawa
