Surface treatment of diamond films with Ar and O2 cluster ion beams
Surface treatment of diamond films with Ar and O2 cluster ion beams
复制标题
Ar 和 O2 团簇离子束对金刚石薄膜的表面处理
DOI：
10.1016/s0168-583x(98)00769-1
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发表时间：
1999
影响因子：
1.3
通讯作者：
I. Yamada
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
N. Toyoda;N. Hagiwara;J. Matsuo;I. Yamada
影响因子：
4.4
作者：
HAGENA, OF;OBERT, W
通讯作者：
OBERT, W