ICP-CVD法によるhBN薄膜堆積における結晶構造制御応物学会/春季
ICP-CVD法によるhBN薄膜堆積における結晶構造制御応物学会/春季
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通过 ICP-CVD 方法/Spring 控制六方氮化硼薄膜沉积中的晶体结构
DOI:
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发表时间:
2008
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
吉田豊信
中科院分区:
文献类型:
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作者:
十倉祐紀;神原淳;吉田豊信
DOI:
10.4319/lo.2000.45.3.0580
发表时间:
2000
期刊:
影响因子:
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作者:
Author P. W. Lehman
通讯作者:
Author P. W. Lehman