点回折干渉計による高倍率EUV顕微対物ミラーの１nm精度波面制御
点回折干渉計による高倍率EUV顕微対物ミラーの１nm精度波面制御
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使用点衍射干涉仪对高倍 EUV 显微镜物镜进行 1nm 精密波前控制
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
豊田光紀,砂山諒,柳原美広
中科院分区：
文献类型：
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作者：
堀尾吉已;高桑雄二;小川修一;Kyu Yoshimori and Masaki Obara;津留俊英;豊田光紀,砂山諒,柳原美広
