基板励振による薄膜の残留応力制御法の開発
基板励振による薄膜の残留応力制御法の開発
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开发利用基板激励的薄膜残余应力控制方法
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
松室 昭仁
中科院分区：
文献类型：
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作者：
福澤健二;伊藤伸太郎;三矢保永;Chunxiang Ma;松室 昭仁
