Arクラスターイオンビームを用いたSi(111)表面清浄化
Arクラスターイオンビームを用いたSi(111)表面清浄化
复制标题
使用 Ar 簇离子束清洁 Si(111) 表面
DOI：
--
复制
发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
今井和明
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
中川駿一郎;斉藤博;大石正和;今井和明
