10 kA/cm2 Nb 平坦化プロセスを用いた断熱量子磁束パラメトロン回路の歩留まり評価
10 kA/cm2 Nb 平坦化プロセスを用いた断熱量子磁束パラメトロン回路の歩留まり評価
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使用 10 kA/cm2 Nb 平坦化工艺的绝热量子通量参量管电路的良率评估
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
吉川信行
中科院分区：
文献类型：
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作者：
山栄大樹;竹内尚輝;吉川信行
