Dramatic improvement in the crystalline quality of AlN grown on thermally-nitrided sapphire substrates by pulsed sputtering deposition
Dramatic improvement in the crystalline quality of AlN grown on thermally-nitrided sapphire substrates by pulsed sputtering deposition
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通过脉冲溅射沉积在热氮化蓝宝石衬底上生长的 AlN 的晶体质量得到显着改善
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
上野 耕平
中科院分区：
文献类型：
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作者：
吉江路子;田中美吏;村山孝之;工藤和俊;関矢寛史;上野 耕平
