松橋 秀樹: "Al CVDにおけるアルミ有機金属ソースガスの比較" 電子情報通信学会技術報告(シリコン材料デバイス研究会). SDM97-96. 67-71 (1997)
松橋 秀樹: "Al CVDにおけるアルミ有機金属ソースガスの比較" 電子情報通信学会技術報告(シリコン材料デバイス研究会). SDM97-96. 67-71 (1997)
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Hideki Matsuhashi:“Al CVD 中铝有机金属源气体的比较”IEICE 技术报告(硅材料和器件研究小组)。
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