Analysis of conditions for high speed growth of silicon sheet
Analysis of conditions for high speed growth of silicon sheet
复制标题
硅片高速生长条件分析
DOI：
10.1016/0022-0248(80)90230-4
复制
发表时间：
1980
影响因子：
1.8
通讯作者：
S. Schuldt
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
J. Zook;S. Schuldt
