新デバイス・材料の開発を支える微細加工技術
新デバイス・材料の開発を支える微細加工技術
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支持新器件和新材料开发的微细加工技术
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
直
中科院分区：
文献类型：
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作者：
石原;直
