3D激光扫描共聚焦显微镜计量特性分析及测试
3D激光扫描共聚焦显微镜计量特性分析及测试
复制标题
DOI：
--
复制
发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
陈恺
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
崔建军;杜华;朱小平;薛梓;闫勇刚;陈恺
为了合理评定激光扫描共聚焦显微镜(Laser Scanning Confocal Microscope, LSCM)的测量性.能，提出了一种用于检验 LSCM 计量特性的测试方法。首先，依据 LSCM 成像原理，对其技术特点，.特别是轴向分辨率和横向分辨率等进行了理论分析；然后对其计量特性的参数指标进行了归纳，.并提出相应的性能测试方法。具体包括采用线间隔为微纳米级的网格板等作为标准器，测试 LSCM.的放大倍数和光学横向分辨率；采用纳米级高度台阶样板测试 LSCM 的光学轴向分辨率和轴向定.位特性；采用激光干涉仪测试样品台工作性能等。实验证明：该方法能够满足当前普遍应用的.LSCM 的性能测试需求。