低能碳离子束沉积(111)织构的立方SiC薄膜
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DOI：
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发表时间：
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期刊：
影响因子：
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通讯作者：
张兴旺
中科院分区：
文献类型：
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作者：
陈诺夫;侯哲哲;刘志凯;尹志刚;柴春林;马辉;杨霏;杨少延;张兴旺
