RFマグネトロンスパッタリング法によって作製したMnドープITO多結晶膜の物性に及ぼす基板温度の影響
RFマグネトロンスパッタリング法によって作製したMnドープITO多結晶膜の物性に及ぼす基板温度の影響
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衬底温度对射频磁控溅射法制备Mn掺杂ITO多晶薄膜物理性能的影响
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
中村敏浩
中科院分区：
文献类型：
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作者：
川村亮人;北川彩貴;武久進太郎;中村敏浩
