K.Kato ほか5名: "System identification of anti-vibration units in semiconductor exposure apparatus"Proc. of IEEE conference on control applications. 1312-1317 (1999)
K.Kato ほか5名: "System identification of anti-vibration units in semiconductor exposure apparatus"Proc. of IEEE conference on control applications. 1312-1317 (1999)
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K. Kato 等 5 人：“半导体曝光设备中抗振单元的系统识别”Proc. of IEEE 控制应用会议 1312-1317 (1999)。
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