MEMS による熱検知型3 軸加速度センサーの設計と解析
MEMS による熱検知型3 軸加速度センサーの設計と解析
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采用MEMS的热检测型三轴加速度传感器的设计与分析
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
村北直哉，福留功二，大上 芳文
中科院分区：
文献类型：
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作者：
N. Murakita;Y. Ogami and K. Fukudome;村北直哉，福留功二，大上 芳文
