Diagnostic Research on Magnetron Sputter-Deposition of Metal-Doped ZnO Films
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复制标题
金属掺杂ZnO薄膜磁控溅射沉积诊断研究
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and Masanori Shinohara
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yoshinobu Matsuda;Kohei Sakamoto;Takaki Sato;Naoki Matsuo;and Masanori Shinohara
