Tadashi,Shibata: "Thin film formation by low energy ion bombardment" Proc. International Symposium on Ultra Clean Technology for Ultra Large-Scale Integration, Tokyo. 7. 229-241 (1988)
Tadashi,Shibata: "Thin film formation by low energy ion bombardment" Proc. International Symposium on Ultra Clean Technology for Ultra Large-Scale Integration, Tokyo. 7. 229-241 (1988)
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Tadashi，Shibata：“低能离子轰击形成薄膜”Proc。
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