Modeling of emission of particle debris from ablation of the tin target for the laser produced plasma extreme ultra-violet light source
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激光产生等离子体极紫外光源的锡靶烧蚀产生的颗粒碎片发射模型
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Akira Sasaki
中科院分区：
文献类型：
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作者：
A. Sasaki;S. Kato;Akira Sasaki
