広視野レーザ走査型干渉計を用いたナノ形状計測手法の開発－新規干渉縞パターンの観察－
広視野レーザ走査型干渉計を用いたナノ形状計測手法の開発－新規干渉縞パターンの観察－
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使用宽视场激光扫描干涉仪开发纳米形状测量方法 - 观察新的干涉条纹图案 -
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
大原佑太
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Masafumi ASAHI;Yasuhiro TAKAYA;Masaki MICHIHATA;旭真史，高谷裕浩，水谷康弘;大原佑太
