ULTRA-LOW RESONANCE FREQUENCY MEMS GRAVIMETER WITH OFF-RESONANCE CLOSED-LOOP CONTROL

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具有偏共振闭环控制的超低共振频率 MEMS 重力计

DOI:
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发表时间:
2022
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
Tamio Ikehashi
Tamio Ikehashi
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Chengzhi Yi;Jun Wu;Hideyuki Maekoba;Arnaud Parent;Tamio Ikehashi

文献摘要

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