大山 昌憲、玉田 耕治、他: "RFスパッタリングによるSiC薄膜の電気的性質" 東京高等研究報告書. 27. 41-42 (1995)
大山 昌憲、玉田 耕治、他: "RFスパッタリングによるSiC薄膜の電気的性質" 東京高等研究報告書. 27. 41-42 (1995)
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Masanori Oyama、Koji Tamada 等人：“射频溅射制备的 SiC 薄膜的电性能”东京高级研究报告。27. 41-42 (1995)。
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