L.Asinovsky, F.Shen, and T.Yamaguchi: "Characterization of the optical properties of PECVD SiN_x films using ellipsometry and reflectometry"Thin Solid Fiims. 313-314. 198-204 (1998)
L.Asinovsky, F.Shen, and T.Yamaguchi: "Characterization of the optical properties of PECVD SiN_x films using ellipsometry and reflectometry"Thin Solid Fiims. 313-314. 198-204 (1998)
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L.Asinovsky、F.Shen 和 T.Yamaguchi：“使用椭圆光度法和反射法表征 PECVD SiN_x 薄膜的光学特性”薄固体薄膜。
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