メッシュを用いた PBII&D 法における DLC 膜厚均一性の改善
メッシュを用いた PBII&D 法における DLC 膜厚均一性の改善
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使用网格改善 PBII&D 方法中 DLC 膜厚均匀性
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
池永 訓昭
中科院分区：
文献类型：
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作者：
浦 尚輝;池永 訓昭
