Development and characterization of 3D scanning microplasma jet etcher

Development and characterization of 3D scanning microplasma jet etcher
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3D扫描微等离子体喷射蚀刻机的开发和表征

DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
Abstract of The 2nd International Workshop on Microplasmas
影响因子：
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通讯作者：
Helen M.L.Tan
Helen M.L.Tan
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
寺嶋和夫;Fumihiro Omasu;Helen M.L.Tan

文献摘要

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