Time dependence of field-emission current for silicon RF-MEMS applications
Time dependence of field-emission current for silicon RF-MEMS applications
复制标题
硅 RF-MEMS 应用场发射电流的时间依赖性
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
H.Toshiyoshi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K.Yamashita;W.Sun;B.Charlot;K.Kakushima;H.Fujita;H.Toshiyoshi
