比嘉勝也: "多孔質化による単結晶シリコンマイクロ構造の製作" 日本機械学会材料力学部門講演論文集Vol.B. Vol.B. 435-436 (1996)
比嘉勝也: "多孔質化による単結晶シリコンマイクロ構造の製作" 日本機械学会材料力学部門講演論文集Vol.B. Vol.B. 435-436 (1996)
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比嘉克也：“通过使其多孔化来制造单晶硅微结构”日本机械工程学会材料力学分部讲座论文集第 B 卷第 435-436 卷（1996 年）
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