SF6/C4F8 ガスを用いたチタンの熱アシスト型反応性イオンエッチング
SF6/C4F8 ガスを用いたチタンの熱アシスト型反応性イオンエッチング
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使用 SF6/C4F8 气体对钛进行热辅助反应离子蚀刻
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
安部 隆
中科院分区：
文献类型：
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作者：
大川太基;村田祐貴;今井純一;寒川雅之;安部 隆
