I.Umezu, K.Kohno, T.Yamaguchi, A.Sugimura, M.Inada: "Deposition of silicon nitride films by pulsed laser ablation of Si target in nitrogen gas"J. Vac. Sci. and technol.. A20. 30-32
I.Umezu, K.Kohno, T.Yamaguchi, A.Sugimura, M.Inada: "Deposition of silicon nitride films by pulsed laser ablation of Si target in nitrogen gas"J. Vac. Sci. and technol.. A20. 30-32
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I.Umezu、K.Kohno、T.Yamaguchi、A.Sugimura、M.Inada：“通过在氮气中脉冲激光烧蚀硅靶材沉积氮化硅薄膜”J。
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