極薄チャネルZnO-TFTにおける熱処理の効果
極薄チャネルZnO-TFTにおける熱処理の効果
复制标题
热处理对超薄沟道ZnO-TFT的影响
DOI:
--
复制
发表时间:
2016
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
松本俊
中科院分区:
文献类型:
--
作者:
池内達紀;若林岳;佐々木涼介;高木誠也;村中司;鍋谷暢一;松本俊