Bottom-up interconnect formation possibility using supercritical fluids:beyond scalability(invited)
Bottom-up interconnect formation possibility using supercritical fluids:beyond scalability(invited)
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使用超临界流体自下而上互连形成的可能性：超越可扩展性（受邀）
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
E.Kondoh
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Eiichi Kondoh;Kenji Sasaki;and Yoichi Nabetani;E.Kondoh
