Numerical Modelhlg of an Ar-H_2 Radio-Flequency Plasma Reactor under Thennaland Chemical None uiibrium Conditions
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无铀条件下Ar-H_2射频等离子体反应器的数值模型
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
他1名、石垣 隆正
中科院分区：
文献类型：
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作者：
R. Ye;他1名、石垣 隆正
