プラズマエッチングにおけるナノメートル表面層反応機構の解明
プラズマエッチングにおけるナノメートル表面層反応機構の解明
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等离子体蚀刻中纳米表面层反应机理的阐明
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
浜口智志
中科院分区：
文献类型：
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作者：
伊藤智子;唐橋一浩;浜口智志
