T. Hara et al: "The Self-Annealing Phenomenon in Copper Interconnection"Electrochem. Solid-State Lett.. Vol.6 (accepted). (2003)
T. Hara et al: "The Self-Annealing Phenomenon in Copper Interconnection"Electrochem. Solid-State Lett.. Vol.6 (accepted). (2003)
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T. Hara 等人：“铜互连中的自退火现象”Electrochem。
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